CD SEM calibration to TEM for accurate metrology of FINs in MuGFET devices

G. F. Lorusso, N. Collaert, R. Rooyackers, M. Ercken, I. Pollentier, S. Cheng, B. Degroote, M. Jurczak, S. Biesemans, O. Richard, H. Bender, A. Azordegan, R. Kuppa, S. Shirke, J. Prochazka, T. Long

Research output: Contribution to journal › Conference article › peer-review